XPS Peak Fit是一款專業(yè)的化學(xué)XPS分峰軟件，可以進(jìn)行分析物質(zhì)表面的化學(xué)組分及狀態(tài)分析，能夠?qū)Ρ砻婀怆娮幽茏V處理分析，能自動生成很多重要的參數(shù)。

【使用說明】

　　1、Excel中的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成TXT格式

　　從Excel中的數(shù)據(jù)只選擇要進(jìn)行擬合的數(shù)據(jù)點(diǎn)，復(fù)制到txt文本中，即BD兩列數(shù)據(jù)，另存為*.txt文件。

　　2、打開分峰軟件,在XPS Peak Fit窗口中，從Data菜單中選擇Import (ASCII)，即可將轉(zhuǎn)換好的txt文本導(dǎo)入，出現(xiàn)譜線

　　3、扣背底

　　在打開的Region 1窗口中，點(diǎn)擊 Backgrond，選擇Boundary的默認(rèn)值，即不改變High BE和Low BE的位置，Type一般選擇Shirley類型扣背底

　　4、加峰

　　選擇Add Peak，選擇合適的Peak Type(如s,p,d,f),在Position處選擇希望的峰位，需固定時(shí)點(diǎn)fix前的小方框,同時(shí)還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。各項(xiàng)中的constaints可用來固定此峰與另一峰的關(guān)系。如W4f中同一價(jià)態(tài)的W4f7/2和W4f5/2的峰位間距可固定為2.15eV，峰面積比可固定為4:3等，對于% Lorentzian-Gaussian選項(xiàng)中的fix先去掉對勾，點(diǎn)擊Accept完成對該峰的設(shè)置。點(diǎn)Delete Peak可去掉此峰。再選擇Add Peak可以增加新的峰，如此重復(fù)。注意：% Lorentzian-Gaussian值最后固定為20%左右。